هنگام طراحي يا بهره برداري از سيستم مكش، درك عملكرد آنها بسيار مهم است. ما متداولترين انواع پمپهاي مكش و اصول عملكرد آنها و مكاني كه در سيستم مورد استفاده قرار ميگيرند را مرور خواهيم كرد. در ماههاي آينده به جزئيات بيشتري از هريك از اين پمپها خواهيم پرداخت.
دستهبندي پمپهاي مكش (با فشار عملياتي)
پمپهاي مكش بر اساس محدوده فشار عملياتي به صورت زير طبقهبندي ميشوند: پمپهاي اوليه، پمپهاي تقويت كننده يا پمپهاي فرعي. در هر محدوده فشار چندين نوع پمپ خلا مختلف وجود دارد كه هر كدام از فناوري متفاوتي بهره ميبرند و هر كدام از مزاياي منحصر به فرد در رابطه با ظرفيت فشار، سرعت جريان، هزينه و نيازهاي نگهداري برخوردار هستند.
صرف نظر از طراحي آنها، اصول كاركرد آنها همين است. پمپهاي مكش با خارج كردن مولكولهاي هوا و ساير گازها از محفظه مكش يا از سمت خروجي پمپ مكش بالاتر در صورت اتصال به مجموعه، عمل ميكنند. با كاهش فشار در محفظه و حذف مولكولهاي اضافي، آنها از نظر ظاهري فشردهتر ميشوند. در نتيجه، يك سيستم مكش صنعتي بايد قادر باشد بيش از بخشي از يك محدوده فشار فوقالعاده بزرگ عمل كند، به طور معمول فشار آنها از 1 تا 10 متفاوت است. در تحقيقات و كاربردهاي علمي اين ميزان تا 10-9 Torr يا بالاتر افزايش داشته است. براي دستيابي به اين هدف، از چندين سبك مختلف پمپ در يك سيستم معمولي استفاده ميشود كه هر يك بخشي از محدوده فشار را پوشش ميدهند و در بعضي مواقع به صورت سري كار ميكنند.
سيستمهاي مكش در گروه بندي گستردهاي از محدوده فشار زير قرار ميگيرند:
- مكش كم:> فشار اتمسفر به 1 Torr
- مكش متوسط: يك تا 10-3 Torr
- مكش بالا: 10-3 Torr تا 10-7 Torr
- مكش فوق العاده بالا: 10-7 Torr تا 10-11 Torr
- خلاء شديد شديد: < 10-11 Torr
انواع مختلف پمپهاي مكش را ميتوان به صورت زير تقسيمبندي كرد:
- پمپهاي اوليه (پشتيبان): محدوده فشار مكش كم.
- پمپهاي تقويت كننده: محدوده فشار مكش كم.
- پمپهاي ثانويه (مكش بالا): دامنه مكش بسيار بالا و فوق العاده بالا.
دو فناوري مورد استفاده در پمپهاي مكش عمليات انتقال گاز و جذب گاز است. پمپهاي انتقال با انتقال مولكولهاي گازي توسط هر دو تبادل حركت (عمليات جنبشي) يا جابجايي مثبت كار ميكنند. همان تعداد مولكولهاي گازي كه وارد آن ميشوند از پمپ تخليه ميشوند و هنگام بيرون كشيدن گاز فشاري كمي بالاتر از فشار اتمسفر دارند. نسبت فشار اگزوز (خروجي) به كمترين فشار بدست آمده (ورودي) نسبت فشردهسازي ناميده ميشود.
پمپهاي انتقال جنبشي بر اساس اصل انتقال نيرو كار ميكنند و گاز را به سمت خروجي پمپ هدايت ميكنند تا احتمال افزايش مولكول به سمت خروجي با استفاده از تيغههاي پرسرعت يا بخار وارد شده فراهم شود. پمپهاي جنبشي معمولا داراي حجم درزگير نيستند اما در فشارهاي كم ميتوانند به نسبت فشار كمتري برساند.
پمپهاي انتقال جابجايي مثبت با به دام انداختن مكانيكي يك حجم گاز و انتقال آن از طريق پمپ كار ميكنند. آنها اغلب در چند مرحله بر روي شفت پيشران معمولي طراحي ميشوند. حجم جدا شده با فشار بيشتر به حجم كمتري فشرده ميشود و سرانجام گاز فشرده شده به اتمسفر (يا به پمپ بعدي) منتقل ميشود. اتفاق معمول به اين صورت است كه دو پمپ انتقال به صورت سري مورد استفاده قرار ميگيرند تا مكش بالاتر و سرعت جريان بيشتري فراهم كنند. به عنوان مثال، يك پمپ توربو مولكولي را ميتوان در يك سري با پمپ پيمايشي (جابجايي مثبت) به عنوان يك سيستم بستهبندي شده خريداري كرد.
پمپهاي جذب با گرفتن مولكولهاي گازي روي سطوح درون سيستم مكش كار ميكنند. پمپهاي جذب با سرعت جريان كمتري نسبت به پمپهاي انتقال كار ميكنند اما ميتوانند مكش فوق العاده بالا را تا 10-12 Torr ايجاد كرده و مكش بدون جذب روغن ايجاد كنند. پمپهاي جذب با استفاده از تراكم كرايوژنيك، واكنش يوني يا واكنش شيميايي عمل ميكنند و هيچ قسمت متحركي ندارند